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自動化晶圓定向檢測系統(tǒng)在線優(yōu)化晶圓對準，大幅提升產(chǎn)能。在線式晶圓取向圖譜分析，符合晶圓廠標準。

晶錠自動化單晶定向系統(tǒng)重塑晶錠研磨前處理工藝：自動化、高精度、高效率?？墒宫F(xiàn)有設備滿足 200 毫米及 300 毫米規(guī)格晶錠的高級外徑 / 缺口技術標準 。

自動化碳化硅晶錠粘接定向儀X 射線管與探測器固定不動，只需單次測量周期，且無需單色儀。單次旋轉(zhuǎn)即可采集全定向測定所需全部數(shù)據(jù)。